详细内容
台式线宽测试仪
仪器特点
1、快速软体量测功能：框选被测线宽区域后自动确定线边界，输出线宽值，判断NG、OK，并同时输出被测项目数据报表，同时具备SPC统计分析功能。
2、红光LED定位
技术参数
项目 | 技术参数 |
测量精度 | 3X以上精度±1µm; 2X时精度为±2µm；1X时精度为±3µm |
光学放大倍率 | 1.4X-9X |
电子放大倍率 | 70X-450X |
可测线宽 | ≥20µm |
相机 | 130W像素进口相机 |
图像解析度 | 0.4-2.7um/Pixel |
光源 | LED环形光源 |
软件 | 源兴YX-XK专用软件 |
定位 | 红光LED定位 |
外形尺寸 | 980*720*1260mm |
重量 | 160Kg |
上一个：没有了！
下一个：全自动线宽测量仪
